结构光检测大型止推环止推面平面度探究

发布时间：2017-10-18 06:07

  本文关键词：结构光检测大型止推环止推面平面度探究

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【摘要】：为指导高精度大型止推面加工,需要对其平面度进行面采样测试。本文建立了结构光检测模型:激光器投射平行条纹到被测表面,CCD相机接收包含条纹的图像。被测面理想的情况下,CCD相机接收到直条纹;当被测面存在凹凸时,条纹发生扭曲,扭曲量和高度存在比例关系。论文推导了结构光检测一体式装置的数学模型,分析了入射角对测量精度的影响。实验结果表明,入射角越大,系统分辨力越高;当入射角度继续增大时,检测精度有望达到要求,然而图像畸变严重,处理困难。论文提出改进分体式检测装置,CCD相机固定在待测面正上方,线激光阵列以相同角度入射。在入射角为85°时,对400 mm×400 mm的平面检测时,采用4 096 pixel×4 096 pixel的CCD,借助亚像素技术,结构光检测系统分辨力可以达到亚微米级别。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 大面型 平面度 面采样 线结构光
【基金】：国家863高技术项目
【分类号】：TP391.41
【正文快照】： 0引言止推环是光电望远镜的支撑器件,随着望远镜口径的增加,止推环尺寸也越来越大。目前光电所的止推环直径已达数米,环形宽度已达到400 mm。作为支撑器件,止推环的平面度决定望远镜轴系精度。我所对大尺寸止推环平面度要求≤0.02 mm,测量误差≤0.01 mm。传统平面度测量有以下

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本文编号：1053349