工业CT二维空间分辨力的校准方法

发布时间：2018-06-11 16:57

  本文选题：工业CT + 空间分辨力　； 参考：《纳米技术与精密工程》2017年06期

【摘要】：工业CT的空间分辨力是指从CT图像中能够分辨特定的最小几何细节的能力,是评价一台工业CT系统测量能力的重要参数之一.为了提升工业CT的测量能力及成像质量,需要对其空间分辨力进行校准实验.针对这一问题设计出栅格形及交叉形分辨力线对卡,使用光刻工艺完成其研制过程,并基于此结合本底校正等图像处理方法进行了系统二维空间分辨力校准实验,通过调制传递函数MTF计算出实验系统的空间分辨力数值,验证了此方法可用于校准CT分辨力的实验意义.最后,对如何提升测量准确度的问题进行了探讨.
[Abstract]:The spatial resolution of industrial CT refers to the ability to distinguish the specific minimum geometric details from the CT image and is one of the important parameters to evaluate the measurement ability of an industrial CT system. In order to improve the measuring ability and imaging quality of industrial CT, the calibration experiment of its spatial resolution is needed. In order to solve this problem, a grid and cross shape resolution line alignment card is designed, and the process of its development is completed by lithography. Based on this, the calibration experiments of systematic two-dimensional spatial resolution are carried out based on the background correction and other image processing methods. The spatial resolution of the experimental system is calculated by MTF, which verifies the experimental significance of this method in calibrating the CT resolution. Finally, how to improve the accuracy of measurement is discussed.
【作者单位】： 天津大学精密仪器与光电子工程学院;中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所;广东省计量科学研究院长度室;中国商飞上海飞机设计研究院;中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所;
【分类号】：TP391.41

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本文编号：2006010