VO 2 /FTO复合薄膜光电特性研究
发布时间：2020-12-26 14:48
智能窗是一种能够根据外界环境温度变化而改变自身红外透过率的窗户,从而达到节能环保的作用。就智能窗材料的选取方面,VO2薄膜材料因为具有热致变色特性而受到大多数人的密切关注。在相变温度前后,VO2薄膜材料不管是结构还是光电特性都会发生很大的变化,并且这种变化是可逆的。本文首先通过多层膜矩阵计算理论、修正的Sellmeier色散模型和经典Preisach理论模型分别建立了VO2/FTO复合薄膜变温光学模型和新型的Preisach理论模型。基于这两种模型计算分析了VO2/FTO复合薄膜的光学特性和电学特性,并与磁控溅射法制备的复合薄膜样品的光电特性分别进行比较,结果显示两者的结果较为一致。研究表明,随着VO2/FTO复合薄膜的厚度增加,其透过率会降低,热滞回线变宽,相变温度降低,这主要是受复合薄膜的结晶性影响。然后,在室温条件下利用磁控溅射法在导电玻璃FTO基底上镀上一层金属钒薄膜,再通过后退火工艺使金属钒薄膜氧化成VO2,从而得到具有热致变色的VO2/FTO复合薄膜,同时还研究并分析了一些工艺参数对复合薄膜特性的影响,完善了制备VO2/FTO复合薄膜的工艺流程,从而获得了最佳工艺参数。最后...
【文章来源】：上海理工大学上海市
【文章页数】：51 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
中文摘要
ABSTRACT
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 国内外研究现状
1.3 热致变色薄膜的应用
1.4 课题研究的目的和意义
1.5 课题研究的创新点
1.6 本章小结
第二章 复合薄膜的结构和理论分析
2.1 复合薄膜光学特性理论分析
2.1.1 多层薄膜矩阵计算理论
2.1.2 复合薄膜变温光学模型
2.2 复合薄膜电学特性理论分析
2.2.1 经典Preisach理论模型
2.2.2 新型Preisach理论模型
2.3 本章小结
2/FTO复合薄膜的制备">第三章 VO2/FTO复合薄膜的制备
3.1 薄膜的制备方法概述
3.1.1 溅射法
3.1.2 真空蒸发法
3.1.3 溶胶-凝胶法
3.1.4 脉冲激光沉积法
2/FTO复合薄膜的工艺流程"> 3.2 制备VO2/FTO复合薄膜的工艺流程
2/FTO复合薄膜的因素"> 3.3 影响VO2/FTO复合薄膜的因素
3.3.1 溅射时间对复合薄膜的影响
3.3.2 溅射功率对复合薄膜的影响
3.3.3 溅射时工作压力对复合薄膜的影响
3.3.4 退火温度和退火时间对复合薄膜的影响
3.4 本章小结
2/FTO复合薄膜的特性测试与分析">第四章 VO2/FTO复合薄膜的特性测试与分析
2/FTO复合薄膜结构分析"> 4.1 VO2/FTO复合薄膜结构分析
4.1.1 X射线衍射分析
4.1.2 电子显微镜测试
2/FTO复合薄膜光学特性分析"> 4.2 VO2/FTO复合薄膜光学特性分析
2/FTO复合薄膜电学特性分析"> 4.3 VO2/FTO复合薄膜电学特性分析
4.4 本章小结
第五章 全文总结
参考文献
在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果
致谢
【参考文献】：
期刊论文
[1]铁钛共掺强韧化蓝宝石晶体的研究[J]. 胡克艳,徐军,唐慧丽,李红军,邹宇琦,苏良碧,陈伟超,于海欧,杨秋红. 物理学报. 2013(06)
[2]FTO导电玻璃对太阳电池窗口层材料的影响[J]. 权祥,林祖伦,张国宏,文永亮,刘曾怡. 电子器件. 2010(06)
[3]二氧化钒薄膜制备研究的最新进展[J]. 丰世凤,宁桂玲,王舰,林源. 化工进展. 2007(06)
[4]蓝宝石衬底上HVPE-GaN厚膜生长[J]. 马平,魏同波,段瑞飞,王军喜,李晋闽,曾一平. 半导体学报. 2007(06)
[5]纳米VO2薄膜的制备及其可见光透过率的改善[J]. 沈楠,李毅,易新建. 红外与毫米波学报. 2006(03)
[6]FTO/ITO复层导电薄膜的研究[J]. 胡志强,张晨宁,丘鹏,刘俐宏,奥谷昌之,金子正治. 功能材料. 2005(12)
[7]Nanostructure and thermal-optical properties of vanadium dioxide thin films[J]. 李毅,易新建,张天序. Chinese Optics Letters. 2005(12)
[8]F掺杂SnO2透明导电薄膜微结构及性能研究[J]. 莫建良,陈华,曹涯雁,刘起英,汪建勋,翁文剑,韩高荣. 太阳能学报. 2004(02)
[9]长寿命热电池用复合阴极材料的研究[J]. 刘效疆. 电子技术参考. 2000 (04)
本文编号：2939907
【文章来源】：上海理工大学上海市
【文章页数】：51 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
中文摘要
ABSTRACT
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 国内外研究现状
1.3 热致变色薄膜的应用
1.4 课题研究的目的和意义
1.5 课题研究的创新点
1.6 本章小结
第二章 复合薄膜的结构和理论分析
2.1 复合薄膜光学特性理论分析
2.1.1 多层薄膜矩阵计算理论
2.1.2 复合薄膜变温光学模型
2.2 复合薄膜电学特性理论分析
2.2.1 经典Preisach理论模型
2.2.2 新型Preisach理论模型
2.3 本章小结
2/FTO复合薄膜的制备">第三章 VO2/FTO复合薄膜的制备
3.1 薄膜的制备方法概述
3.1.1 溅射法
3.1.2 真空蒸发法
3.1.3 溶胶-凝胶法
3.1.4 脉冲激光沉积法
2/FTO复合薄膜的工艺流程"> 3.2 制备VO2/FTO复合薄膜的工艺流程
2/FTO复合薄膜的因素"> 3.3 影响VO2/FTO复合薄膜的因素
3.3.1 溅射时间对复合薄膜的影响
3.3.2 溅射功率对复合薄膜的影响
3.3.3 溅射时工作压力对复合薄膜的影响
3.3.4 退火温度和退火时间对复合薄膜的影响
3.4 本章小结
2/FTO复合薄膜的特性测试与分析">第四章 VO2/FTO复合薄膜的特性测试与分析
2/FTO复合薄膜结构分析"> 4.1 VO2/FTO复合薄膜结构分析
4.1.1 X射线衍射分析
4.1.2 电子显微镜测试
2/FTO复合薄膜光学特性分析"> 4.2 VO2/FTO复合薄膜光学特性分析
2/FTO复合薄膜电学特性分析"> 4.3 VO2/FTO复合薄膜电学特性分析
4.4 本章小结
第五章 全文总结
参考文献
在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果
致谢
【参考文献】：
期刊论文
[1]铁钛共掺强韧化蓝宝石晶体的研究[J]. 胡克艳,徐军,唐慧丽,李红军,邹宇琦,苏良碧,陈伟超,于海欧,杨秋红. 物理学报. 2013(06)
[2]FTO导电玻璃对太阳电池窗口层材料的影响[J]. 权祥,林祖伦,张国宏,文永亮,刘曾怡. 电子器件. 2010(06)
[3]二氧化钒薄膜制备研究的最新进展[J]. 丰世凤,宁桂玲,王舰,林源. 化工进展. 2007(06)
[4]蓝宝石衬底上HVPE-GaN厚膜生长[J]. 马平,魏同波,段瑞飞,王军喜,李晋闽,曾一平. 半导体学报. 2007(06)
[5]纳米VO2薄膜的制备及其可见光透过率的改善[J]. 沈楠,李毅,易新建. 红外与毫米波学报. 2006(03)
[6]FTO/ITO复层导电薄膜的研究[J]. 胡志强,张晨宁,丘鹏,刘俐宏,奥谷昌之,金子正治. 功能材料. 2005(12)
[7]Nanostructure and thermal-optical properties of vanadium dioxide thin films[J]. 李毅,易新建,张天序. Chinese Optics Letters. 2005(12)
[8]F掺杂SnO2透明导电薄膜微结构及性能研究[J]. 莫建良,陈华,曹涯雁,刘起英,汪建勋,翁文剑,韩高荣. 太阳能学报. 2004(02)
[9]长寿命热电池用复合阴极材料的研究[J]. 刘效疆. 电子技术参考. 2000 (04)
本文编号：2939907
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