基于共生生物搜索算法的半导体生产线调度方法研究
发布时间：2020-05-11 20:40
【摘要】：半导体生产线是经典的复杂柔性工业制造系统,具有工艺流程冗长庞大、可重入流数量多、高度不确定性等难点。对于该类型系统的任务调度,在不失调度方案的优良性能的前提下,更加高效迅速地获得优质的调度方案是更加需要关注的。本文选择半导体生产线作为背景进行基础研究,以更加迅捷地产出优质调度方案为目标,围绕半导体制造系统光刻和刻蚀两个阶段调度中的关键难点,研究了基于共生生物搜索算法的多策略单目标优化算法和高效多目标智能调度算法,本论文的具体研究内容如下:1、针对光刻机低成品率时调度精度不足的问题,研究一种基于多策略融合的改进共生生物搜索算法。在该方法中,引入局部搜索加深共生生物搜索算法的搜索深度,通过反向学习扩展算法的搜索广度,提出灾变阶段帮助算法跳出局部最优;原始算法的参数少,鲁棒性强,本部分在保留其优秀框架的基础上显著地优化了其搜索效果。2、针对刻蚀阶段产出多目标调度方案效率不高的问题,调度目标选择最小化最大完工时间及总拖期,研究一种基于多目标共生生物搜索算法及信息熵终止规则的高效多目标智能调度算法。该算法以多目标共生生物搜索算法为基本算法,通过判定框架来逐代执行搜索,利用基于信息熵的终止规则来判断算法达到收敛的具体终止代数,从而及时的停止算法,省去大量参数调整的时间和后续较为冗余的迭代过程。仿真实验表明,本文研究的多策略单目标优化算法和高效多目标智能调度算法可以有效地解决调度过程中损耗时间长、调整繁杂、计算量大的难题,具有较高的实际应用价值。
【图文】：
刻机这种单价数百万美元的瓶颈机台，工艺流程多达数百步，且其中存在大量可重入逡逑的工作流。裸露的晶硅经过光刻、刻蚀、氧化等加工区，，在成品硅中刻蚀上设计好的逡逑集成电路。图１－２所示为典型的半导体生产线加工流程［３］，图中箭头表示产品的流向，逡逑主要的工作区具体描述如下：逡逑２逡逑
１．３．２光刻过程调度问题研究现状逡逑如１．２．２小节所述，光刻过程所有设备是最为昂贵的，作为半导体前端工艺中的逡逑瓶颈加工区而备受关注，其工艺过程繁杂且精准度要求高，图１－５展示了概括的光刻逡逑工艺以及光刻过程调度问题的分类方法，通常按问题特征或者方法进行分类。逡逑ｅ邋kxｓ逦４邋，逦ｓ？逡逑Ｊ逦？逡逑１．烘烤逦２．－层逦４．曝光逡逑？邋：Ｉ0逦？逡逑＼N虾婵惧危叮杂板澹罚残院婵荆福觳猓簦义夏Ｉ柚茫蹋剩蕖瑰迤洌у问Ч妫掊义希ぞ吒ǎ撸ㄉ救斯ぶ清义希皱遄ㄓ梦銎舴⑹剑义贤迹保倒饪探锥蔚鞫任侍夥掷噱义希疲椋纾澹保靛澹茫欤幔螅螅椋妫椋悖幔簦椋铮铄澹铮驽澹螅簦澹穑穑澹蝈澹螅悖瑁澹洌酰欤椋睿珏澹穑颍铮猓欤澹礤义细菸侍馓卣骱驮际跫那穑芯糠较蛴卸嘀智榭觥＃模酰鳎幔颍榈龋郏常矗闭攵怨饪体义锨泄庋谀Ｉ柚迷际牡鞫任侍猓岢鲆恢中碌钠舴⑹焦嬖蚋ㄖг驳难≡瘢佣义吓卸鲜欠袂谢还庋谀！＃祝酰郏常担莸妊芯苛艘恢纸岷瞎ぜ头庞肱懦痰牡鞫确椒ǎ饩龊义嫌凶ㄓ没卣鞯钠烤奔庸で鞫任侍猓岣吡硕┑バ筒返淖际苯换趼始巴掏铝俊ｅ义希校幔颍耄郏常叮莸忍岢鲆恢忠远嗄勘晗咝怨婊魑诵牡钠舴⑹焦嬖颍行迪至斯饪碳ゅ义暇叩木г彩头趴刂
本文编号：2659033
【图文】：
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１．３．２光刻过程调度问题研究现状逡逑如１．２．２小节所述，光刻过程所有设备是最为昂贵的，作为半导体前端工艺中的逡逑瓶颈加工区而备受关注，其工艺过程繁杂且精准度要求高，图１－５展示了概括的光刻逡逑工艺以及光刻过程调度问题的分类方法，通常按问题特征或者方法进行分类。逡逑ｅ邋kxｓ逦４邋，逦ｓ？逡逑Ｊ逦？逡逑１．烘烤逦２．－层逦４．曝光逡逑？邋：Ｉ0逦？逡逑＼N虾婵惧危叮杂板澹罚残院婵荆福觳猓簦义夏Ｉ柚茫蹋剩蕖瑰迤洌у问Ч妫掊义希ぞ吒ǎ撸ㄉ救斯ぶ清义希皱遄ㄓ梦銎舴⑹剑义贤迹保倒饪探锥蔚鞫任侍夥掷噱义希疲椋纾澹保靛澹茫欤幔螅螅椋妫椋悖幔簦椋铮铄澹铮驽澹螅簦澹穑穑澹蝈澹螅悖瑁澹洌酰欤椋睿珏澹穑颍铮猓欤澹礤义细菸侍馓卣骱驮际跫那穑芯糠较蛴卸嘀智榭觥＃模酰鳎幔颍榈龋郏常矗闭攵怨饪体义锨泄庋谀Ｉ柚迷际牡鞫任侍猓岢鲆恢中碌钠舴⑹焦嬖蚋ㄖг驳难≡瘢佣义吓卸鲜欠袂谢还庋谀！＃祝酰郏常担莸妊芯苛艘恢纸岷瞎ぜ头庞肱懦痰牡鞫确椒ǎ饩龊义嫌凶ㄓ没卣鞯钠烤奔庸で鞫任侍猓岣吡硕┑バ筒返淖际苯换趼始巴掏铝俊ｅ义希校幔颍耄郏常叮莸忍岢鲆恢忠远嗄勘晗咝怨婊魑诵牡钠舴⑹焦嬖颍行迪至斯饪碳ゅ义暇叩木г彩头趴刂
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