小尺寸FFS产品Zara分析与改善研究

发布时间：2019-07-30 13:07

【摘要】：通过对大量Zara样品进行分析,构建了不良现象——对应原因(Phenomenon-Cause)的4种理论模式,并基于此理论设计了改善Zara的实验。通过分析发现:约5μm左右可移动的Zara主要为摩擦工艺过程产生的碎屑;10~25μm按压不动的Zara主要为取向膜涂覆过程中的颗粒引起;轮廓清晰尺寸较大的Zara主要来自环境颗粒;无清晰轮廓且体积较大的Zara主要为摩擦取向失效形成的岛状漏光。为降低Zara不良进行实验,结果显示:增加取向膜在基板上的覆盖率以及变更彩膜涂层材料可有效降低Zara不良的发生率;此外,减小柱状隔垫物的坡度角度能够从源头上有效防止Zara的产生。Zara不良的研究与改善提升了小尺寸FFS产品的良率5%以上,为企业的稳定高效生产奠定了基础。
【图文】：

板在暗态画面下显示区域发生的微小漏光现象［４］。由于日本在ＴＦＴ－ＬＣＤ方面起步较早，技术水平先进，所以业内一直沿用至今。本文通过对小尺寸ＦＦＳ产品Ｚａｒａ类不良分析，收集大量数据，建立了Ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ－Ｃａｕｓｅ的４种理论模式，并针对广泛发生的前２种模式Ｚａｒａ进行试验，得到可明显改善Ｚａｒａ不良的方法。２Ｚａｒａ的现象全黑画面下面板上的小亮点（如图１）。１００×目镜观察小亮点可见非全像素的发亮，排除ＴＦＴ开关异常的可能。图１Ｚａｒａ现象示意图Ｆｉｇ．１ＳｃｈｅｍａｔｉｃｏｆＺａｒａｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ在小尺寸面板生产中，此类Ｚａｒａ为常见不良，且形态多样，形成原因较多，比较严重的影响产品良率，对该不良的改善与解决尤为迫切。３Ｚａｒａ的分类与产生原因我们对收集的１３２个Ｚａｒａ进行显微镜观察，依据现象可将其分为４类，分别命名为模式①～④，其现象与分类依据的特点如表１所述。表１Ｚａｒａ的分类及特点Ｔａｂ．１ＣｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆＺａｒａ分类模式①模式②模式③模式④数量４０４４４１７目镜图片显微镜图片６９８液晶与显示第２９卷

；此步骤对模式①Ｚａｒａ无效，因该模式Ｚａｒａ会跟随着液晶移动或者消失在黑矩阵下，无法标记；其余模式的Ｚａｒａ均可采用此方法精确定位。步骤二：剖屏冲液晶后高倍显微镜观察标记位置；步骤三：采用聚焦离子束测试仪（ＦＩＢ）观察标记位置的表面形貌；步骤四：利用ＥＤＸ全息扫描对Ｚａｒａ点进行成分分析；通过对各模式分析，得到如下结果：（１）模式①，样本１～４在剖屏前均为轻触不良区域，Ｚａｒａ样本即产生大范围移动或隐蔽到黑矩阵下，剖屏后完全消失，如图２。该模式的颗粒尺寸较小，在１０μｍ以内。由于无法定位，暂未得到准确的ＦＩＢ结果。但取向膜材料大多是聚酰亚胺材料［５］，摩擦工艺过程会产生摩擦碎屑，当摩擦后清洗过程中未有效清除则形成此类Ｚａｒａ。另一个原因为对盒工艺液晶原材中含有细小杂质，即所观察到的浮游性小颗粒，目前暂未有此方面的验证数据，有待继续研究。图２模式①按压前后对比图片Ｆｉｇ．２Ｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅｐｉｃｔｕｒｅｂｅｆｏｒｅａｎｄａｆｔｅｒｐｒｅｓｓｉｎｇｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｍｏｄｅ①（２）模式②，样本１～４均经过剖屏，冲洗液晶，气枪吹干等过程，制取了ＦＩＢ样品，所得表面形貌特征列举如下：样本１，如图３，剖屏去液晶后ＴＦＴ侧无损伤，彩膜基板侧取向膜可见明显凹坑，凹坑四周边缘清晰，，表明取向膜未固化前该位置有一近似椭圆的颗粒粘附，后因为摩擦及清洗，颗粒掉落。全息扫描结果显示凹坑中间露出主要含Ｃ元素的彩膜涂层膜层。图３样本１显微镜及ＦＩＢ图片Ｆｉｇ．３ＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅａｎｄＦＩＢｐｉｃｔ
【作者单位】： 合肥鑫晟光电科技有限公司;合肥京东方光电科技有限公司;
【分类号】：TN873

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本文编号：2520911