透射式硅基液晶微显示器研制

发布时间：2017-08-14 17:27

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【摘要】：设计并研制了一种单色透射式硅基液晶微显示器,详细论述了透射式硅基液晶微显示器的整个研制工艺流程。为实现透射式结构,驱动背板芯片采用SOI CMOS工艺设计并且流片;使用两次键合的工艺完成了驱动背板芯片硅外延层的剥离和转移,掌握了实现透明背板的关键技术;以此透明背板为驱动基板完成了SXGA单色透射式硅基液晶微显示器的研制。
【作者单位】： 国家平板显示工程技术研究中心;中国电子科技集团公司第五十五研究所;总参陆航部驻上海地区军事代表室;
【关键词】： 微显示器 透射式硅基液晶 集成电路外延层剥离与转移
【基金】：总装备部预研管理中心“十二五”预研项目支持
【分类号】：TN873.93
【正文快照】： 3.总参陆航部驻上海地区军事代表室,上海200233)*引言硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)微显示器,它融合了半导体CMOS集成电路与液晶显示两项技术的优势,具有尺寸小和分辨率高的双重特点。硅基液晶微显示器利用晶体硅CMOS芯片背板集成有源矩阵像素电路及行列驱动电路,

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本文编号：673841