激光织构化TiN薄膜的干摩擦性能研究

发布时间：2017-12-04 21:04

  本文关键词：激光织构化TiN薄膜的干摩擦性能研究

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【摘要】：采用固体Nd:YAG激光器对离子镀TiN薄膜进行织构化处理,表征了薄膜的结构、形貌及凹坑织构参数.通过UMT-2往复式球-盘摩擦磨损试验机评价了织构化薄膜的摩擦磨损特性,研究了织构形貌对TiN薄膜干摩擦条件下摩擦磨损性能的影响.研究结果表明:与未织构化的TiN薄膜相比,织构化TiN薄膜的平均摩擦系数降低,并且磨损率明显减小,这说明织构化TiN薄膜具有更好的耐磨损性能.摩擦过程中,凹坑织构既捕获了磨屑,又有利于摩擦过程中阶跃运动的发生,易于将磨屑带出磨痕,从而降低了摩擦磨损.
【作者单位】： 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室;中国科学院中国科学院大学;
【基金】：国家自然科学基金项目(51505463)资助~~
【分类号】：TB383.2;TN249
【正文快照】： 氮化钛薄膜(Ti N)具有高硬度、良好的耐磨性及耐腐蚀性等优异的性能,已经成为较为广泛应用的硬质薄膜材料之一[1 3].但是随着材料加工技术的发展和防护要求的提高,以及一些运动部件预期服役寿命的延长,需进一步对薄膜进行改性从而提高它的耐磨性能.Received 1 July 2016,revi

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