基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置

发布时间：2017-12-05 03:19

  本文关键词：基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置

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【摘要】：为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外,无法在静电高危区域使用,难以测量运动人体带电情况等难题,该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构,显著增大了电场感应面积,增强了灵敏度。设计11个检测电极分布式布置形成门体结构,成功实现人体头、肩、臂、手、腿、脚部位在运动过程中带电情况的同时测量。基于金属仿真带电人体,提出模拟应用现场的标定方法,准确实现了静电安检门的标定。该静电测量装置具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求。试验结果表明,该装置测量范围为-30~30k V,分辨力优于50 V,总不确定度优于3%。
【作者单位】： 中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室;北京中科飞龙传感技术有限责任公司;
【基金】：国家自然科学基金(61302032,61327810)~~
【分类号】：O441.5;TP212
【正文快照】： (2)(北京中科飞龙传感技术有限责任公司北京100084)静电是引起油气火灾、军用电子元件失效等重大事故的关键因素之一。静电监测在航天、石油石化、工业生产、气象、集成电路等多个领域具有重要意义。在航天领域,静电放电容易造成电子元器件内部损伤[1,2],也可能引燃推进燃料或

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1253379