形貌与微变形全场光学同时测量方法

发布时间：2017-12-05 09:17

  本文关键词：形貌与微变形全场光学同时测量方法

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【摘要】：在实际工程应用中,对材料形貌和结构变形等参量的检测是必不可少的,而且往往需要进行多参量同时测量。针对该背景,采用数字散斑干涉与数字条纹投影相结合的测量方法,设计了一种集成光路,通过在数字散斑干涉实验光路中引入一个投影设备,实现物体表面形貌和微变形的同时测量。所提出的方法具有全场非接触测量的优点,且测量光路简单、操作方便、效率高、可靠性强。该方法的形貌测量分辨率优于10μm,形变测量分辨率优于30nm。
【作者单位】： 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院;奥克兰大学机械工程系;
【基金】：北京市教育委员会科技计划面上项目(KM201511232004) 国家自然科学基金项目(51275054)
【分类号】：O439
【正文快照】： 2.奥克兰大学机械工程系,美国密西根州罗彻斯特市48309)引言在工程领域,单一参量的测量往往比较容易,有多种成熟的技术可以选择,而多参量的同时测量则较为困难。通常通过组合多种测量技术进行多参量的测量,但如此则无法满足多技术同时同位置测量的要求。而工程中多参量的测量，

本文编号：1254315