基于SOI微环谐振腔的表面光滑化研究

发布时间：2017-12-10 09:27

本文关键词：基于SOI微环谐振腔的表面光滑化研究

【摘要】：针对硅波导粗糙侧壁引起的散射损耗是影响SOI微环谐振腔传输性能主要因素的问题,采用热氧化对MEMS工艺制备的微环谐振腔粗糙侧壁进行表面光滑化修饰。利用耦合实验测试其传输性能,同时分析了热氧化温度与微环谐振腔传输特性之间的关系。实验结果表明,氧化温度在1 000℃时,硅波导粗糙侧壁改善效果明显,此时微环谐振腔具有较好的耦合效率和较高的Q值,Q值高达1.2×104。实验结果为硅波导传感器表面光滑化研究提供了重要的参考依据。
【作者单位】：中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(61675185,61275166) 山西省自然科学基金项目(2016010203100046) 山西省高等院校中青年拔尖创新人才及山西省高校“131”领导人才计划项目中北大学杰出青年基金项目
【分类号】：TN256
【正文快照】： 0引言随着集成光学的发展,绝缘体上硅(silicon on insu-lator,SOI)微纳光子器件的制造及集成迅速成为关注的热点。SOI材料凭借硅材料与二氧化硅材料之间的高折射率差,有效地减少了光泄漏,从而广泛应用在光开关、滤波器、激光器、光调制器、隔离器和光学陀螺等多个领域[1-4]。

【参考文献】

中国期刊全文数据库前3条

1 邹品;韩秀友;王瑜;王凌华;谷一英;王锦艳;蹇锡高;赵明山;;可调谐集成光波导射频滤波器研究[J];光学学报;2013年10期

2 刘毅;仝晓刚;于晋龙;薛晨阳;王文睿;郭精忠;王菊;韩丙辰;杨恩泽;;基于热非线性效应的硅基串联双微环谐振腔全光开关[J];中国激光;2013年02期

3 李帅;吴远大;尹小杰;安俊明;李建光;王红杰;胡雄伟;;Tunable filters based on an SOI nano-wire waveguide micro ring resonator[J];半导体学报;2011年08期

【共引文献】

中国期刊全文数据库前10条

1 苏莹;赵学峰;张志东;闫树斌;;基于SOI微环谐振腔的表面光滑化研究[J];仪表技术与传感器;2017年01期

2 郭凯丽;王智;李智勇;李强;乐燕思;吴重庆;;基于SOI的高Q微环谐振腔的研究[J];半导体光电;2016年04期

3 张伟;唐军;刘丽双;;级联环形谐振腔温漂抑制效应实验研究[J];传感技术学报;2016年08期

4 张尚;吴蓉;王朝;许利沙;;并联微环谐振器耦合诱导透明传输特性研究[J];电子科技;2016年05期

5 韩一石;罗志霄;覃新宇;郑振宇;;可选频的多路波分复用光纤无线系统[J];中国激光;2016年05期