紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究
发布时间:2017-12-12 06:07
本文关键词:紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究
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【摘要】:采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO_2气敏性能的影响。结果表明,以500 nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35 m W/cm~3紫外光照射下具有较高的灵敏度、较快的响应和恢复时间。随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大,ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低;且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇、甲醛、H_2S、SO_2和CH_4等气体具有很好的选择性。
【作者单位】: 中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室室;中国科学技术大学研究生院科学岛分院;中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室;
【基金】:国家自然科学基金面上项目(11674320,51471161) 国家重点研发计划(2016YFC0201103) 中国科学院青年创新促进优秀会员项目(QYZDB-SSW-JSC017);中国科学院前沿科学重点研究项目(QYZDB-SSW-JSC017) 安徽省杰出青年科学基金(1408085J10)
【分类号】:O484
【正文快照】: 氮氧化物(主要是NO2和NO)是典型的大气污染物,主要来源于汽车尾气的排放[1],对环境和人体有着极大的危害。为了对大气中的氮氧化物进行实时监测和控制汽车尾气中氮氧化物的浓度,很多研究人员致力于NOx传感器的开发与研究[2-3]。目前,金属氧化物半导体气体传感器具有体积小、成
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