激光诱导沉积高粘度银浆制备微结构的研究

发布时间：2017-12-12 10:18

  本文关键词：激光诱导沉积高粘度银浆制备微结构的研究

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【摘要】：激光诱导向前转移是近些年来兴起的一种微加工技术,可以用来转移金属材料、生物材料和各向异性材料等。进行了利用纳秒激光诱导沉积高粘度导电银浆的实验研究,并对接收层上沉积的银浆进行观察分析,探讨了激光脉冲能量和与接收层的距离对沉积效果的影响,分析了沉积过程,沉积出连续银浆导线,并分析其导电特性。实验发现,当激光脉冲能量为87μJ,与接收层的距离为40μm时,沉积点均匀稳定,直径为一百多微米。通过调节三维平台带动靶材移动,用交叉打点的方法进行沉积,可制备出连续银浆导线,导线的宽度约100μm,电阻率达6.12×10~(-8)Ωm,与靶材的电阻率相差不大,可以用于微电路和微传感器等的制备。一维线状连续微结构的成功制备,为以后沉积二维微结构,甚至三维结构奠定了基础。
【作者单位】： 广东工业大学特种能场加工实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(No.11172072);国家自然科学基金项目(No.51175091)资助
【分类号】：TN249
【正文快照】： 激光诱导向前转移(LIFT)早在19世纪70年代 业的应用,有学者利用Nd:YAG脉冲激光和石墨耙就有学者提出,经过几十年的发展,针对不同靶材,材打印出线宽小于3(Vm的图案[1]。Nakatau]等研1引言已有相当多的研究成果。早期的研究关注于印刷行 究了小分子有机物的激光诱导向前转移,碳，

本文编号：1282129