基于激光阵列的多通道微梁生化传感系统

发布时间：2017-12-15 05:17

  本文关键词：基于激光阵列的多通道微梁生化传感系统

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【摘要】：针对单微悬臂梁生化检测系统中存在的温度漂移、溶液折射率变化等环境噪声影响和不能多目标检测等问题,设计制作了一种基于垂直腔面射型激光器阵列(VCSELs)的新型微悬臂梁阵列生化传感系统。利用双透镜组光路汇聚激光器阵列发出的激光束,依次照射到微悬臂梁阵列尖端进行精确定位扫描,实现了5根微悬臂梁变形信号的同步检测。该系统具有灵敏度高、一致性好、检测快速等优点。通过升降温动态实验测试,验证了该系统的稳定可靠性。上述结果为微悬臂梁阵列式生化传感技术的开展提供了一种新的方法和平台。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心;
【分类号】：TN248;TP212
【正文快照】： 0引言近年来,随着原子力显微技术和微机电加工技术的发展,在生化检测领域逐渐演化出一种基于力学效应的高灵敏度微悬臂梁(以下简称“微梁”)传感技术,该技术具有检测灵敏度高、无需标记、能实时原位再现生化反应信息等优点。其检测原理是:微梁单侧表面上固定有探针分子,与样品，

本文编号：1290753