偏振双向衰减对光学成像系统像质影响的矢量平面波谱理论分析
发布时间：2017-12-15 11:26
本文关键词：偏振双向衰减对光学成像系统像质影响的矢量平面波谱理论分析
【摘要】：偏振双向衰减(diattenuation)是指偏振元件引入的光场传播过程中表征电矢量的两个正交偏振态的振幅变化特性.在大部分有关偏振像差的讨论中,聚焦光场偏振态的振幅变化对其分布的影响较小而不被重视.但在一些大相对孔径光学系统中,对于分束器、光调制器等有复杂平面介质结构的低透过率光学元件而言,引入的偏振相关的振幅调制相对大得多.本文依据矢量平面波谱理论,建立了笛卡尔坐标系下的理想光学成像系统的矢量光学模型,验证了与德拜矢量衍射积分的一致性.在线偏振光入射的条件下,对在汇聚光路中使用的光学元件的偏振双向衰减特性对成像质量的影响进行理论研究.结果表明,在调制传递函数的低频率处(v0.2NA/λ),这种影响是可以忽略的;随着空间频率的增加,光学元件的偏振双向衰减特性对成像系统调制传递函数的影响逐渐变大.若要求调制传递函数的数值不低于衍射极限的90%,中频处(0.2NA/λv0.8NA/λ),s光和p光的透射/反射系数之比至少需要控制在[0.63,1.6]的范围内;而当v0.8NA/λ时,则需要控制在[0.9,1.11]的范围内.随着光学系统光轴与光学分界面法向的倾角增加,容差范围有所放宽.
【作者单位】： 中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学;
【基金】：国家自然科学基金(批准号:11274377) 财政部重大科研装备仪器项目(批准号:ZDY2011-2)资助的课题~~
【分类号】：O436.3
【正文快照】： 偏振特性导致的聚焦特性变化一般称之为偏振像1引言 差W1.由于平面波在光学分界面处的连续条件随.,^曰 角度变化趋势不一致,在诸如大数值孔径光刻系统理想光学成像系统的焦平面光场分布由标量 +姐、,六—中,边缘光线的入射角往往较大,偏振像差的存在衍射理论决定,对于波RG像差
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李e，
本文编号：1291810
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