K9玻璃表面颗粒污染物的激光清洗

发布时间：2017-12-15 16:20

  本文关键词：K9玻璃表面颗粒污染物的激光清洗

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【摘要】：采用光学显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、图像分析软件等,对K9玻璃表面的灰尘颗粒污染物进行了激光直接辐照清洗及激光诱导等离子体冲击波清洗研究。结果表明,经激光直接辐照清洗后,其透射率得到大幅度的提高,但对微小颗粒移除效果不佳,且易于引起元件的激光辐照损伤;激光诱导等离子体冲击波清洗,能取得更好的清洗效果,且没有出现基底损伤。经激光诱导等离子体清洗后(激光诱导等离子体距样品表面距离1 mm,等效激光作用脉冲数10个,激光波长1 064 nm,激光能量70.7 m J),K9玻璃表面的355 nm激光损伤阈值(50%损伤几率)由5.8 J/cm~2提高到8.0 J/cm~2,与基底阈值8.5 J/cm~2相当。
【作者单位】： 电子科技大学物理电子学院;四川工程职业技术学院材料工程系;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61505023)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 2.四川工程职业技术学院材料工程系,四川德阳618000)0引言随着光学元件加工技术和处理能力的不断提高,高功率固体装置的建造规模和负载能力也随之提升[1]。颗粒污染物通过沉降、吸附等过程到达光学元件的表面,将对光束有强烈的调制作用,影响激光能量分布均匀性,从而降低光学元

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本文编号：1292612