基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14～16μm波段红外增强吸收特性（英文）

发布时间：2017-12-18 22:20

  本文关键词：基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14～16μm波段红外增强吸收特性（英文）

  更多相关文章： NiCr 热释电探测器 纳米金属薄膜 化学腐蚀 红外吸收

【摘要】：纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14~16μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT(钽酸锂)晶体材料上的纳米级镍铬(NiCr)薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性.通过调节晶体材料的厚度,改变抗反射腔的深度,从而调节吸收波长.为进一步加强红外吸收,应用化学腐蚀,生成粗糙的纳米级薄膜表面结构,从而极大程度上增加吸收表面积.通过将这两种方法结合,可以明显增强指定波段的红外吸收,且其制造过程完全兼容,易于实现.可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合.
【作者单位】： 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【基金】：Supported by National Science Funds for Creative Research Groups of China(61421002) National Natural Science Foundation of China(61405027) the Postdoctoral Science Foundation of China(2014M562296) Fundamental Research Funds for the Central Universities(ZYGX2011X012)
【分类号】：O484
【正文快照】： effective detectors[3-4].In pyroelectric detectors,the ra-Introductiondiation energy heats the sensing element,changing itspolarization and producing an electrical output propor-The infrared characteristics of thin metal films aretional to the incident o

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 马述侃;热释电探测器在激光技术中的应用[J];激光;1978年Z1期

2 顾聚兴;大面积热释电探测器[J];红外;1997年07期

3 C.B.Roundy ,R.LByer ,丁灿君;亚毫微秒热释电探测器[J];电子器件;1985年01期

4 施德恒,许启富,刘玉芳;利用激光并采用热释电探测器的实时测温系统的最优设计[J];光学技术;2001年02期

5 施德恒,刘新建,许启富,陈玉科,刘玉芳;利用激光并采用热释电探测器的实时测温系统的灵敏度[J];光学技术;2000年06期

6 程玉正;;热释电探测器在激光测量中的应用研究[J];光电子.激光;1984年05期

7 刘正飞;热释电红外探测器的原理与特性[J];物理;1987年06期

8 张星三,金蔚青,张国新,刘胜利,山国强;热释电探测器用LiTaO_3晶体[J];人工晶体;1981年01期

9 王民,房昌水;ADTGSP晶体热释电探测器的最佳切割方向[J];物理学报;1987年01期

10 周松娣;肖明强;李海沧;;用热释电探测器测量CO_2激光参数[J];应用激光;1981年02期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 卢伟;汽车内饰面板激光弱化系统及其剩余厚度控制研究[D];华中科技大学;2011年

，

本文编号：1305838