基于连续激光的纳米结构研制

发布时间：2017-12-24 23:04

  本文关键词：基于连续激光的纳米结构研制　出处：《应用光学》2017年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统,以及利用该系统研制的复合纳米结构。当光源为532nm连续激光输出时,与正性光刻胶作用,得到直径50nm的纳米柱复合结构,以及整齐均匀的纳米柱阵列结构;与负性光刻胶作用,得到直径100nm的纳米通道,以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列。当光源为405nm连续光纤激光时,与正性光刻胶作用,也得到了直径小至153nm的纳米柱复合结构及其阵列。这些纳米结构的基本单元尺寸都突破了光学"阿贝衍射极限"的限制,具有实用潜力。
【作者单位】： 西北大学光子学与光学技术研究所国家级光电技术与纳米功能材料国际科技合作研究中心光电技术与功能材料省部共建国家重点实验室培育基地;
【基金】：科技部国际科技合作项目(2011DFA12220) 国家自然科学重大研究计划项目(91123030) 国家自然科学青年科学基金项目(11504294) 陕西省教育厅基金项目(2010JS110,14JS107)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 引言当今前沿基础科学与尖端技术在微小化方向的发展已全面进入了纳米领域。纳米科技的发展为物理、化学、化工、材料以及生命科学等学科的发展注入了新鲜活力,不但促生新的专业方向,更领导着新一代的技术革新。在科学研究和实际应用中,纳米颗粒、纳米柱/棒、纳米孔及其阵列作

【参考文献】

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1 陈烽;杨青;边浩;杜广庆;柳克银;孟祥卫;邓泽方;山超;;飞秒激光湿法刻蚀微纳制造[J];应用光学;2014年01期

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1 楼益民;基于激光直写技术的微光学器件的研究[D];苏州大学;2011年

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本文编号：1330320