凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验研究

发布时间：2017-12-26 03:19

  本文关键词：凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验研究　出处：《量子电子学报》2017年03期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为实现小口径Hindle透镜对大口径凸非球面的高精度检测,提出了一种新的凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验方法,通过加入无光焦度校正透镜有效解决了传统Hindle检验的不足。对口径180 mm、半径380 mm、偏心率2.8的凸非球面进行了设计分析,分别给出了不同光焦度分配及不同无光焦度双透镜间距时系统的残余波像差曲线图,得出较优的系统残余波像差为0.0006λ,验证了该方法的可行性。
【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所公共技术室;中国科学院大学;同济大学物理系;
【基金】：国家973计划,2011CB013206~~
【分类号】：O435
【正文快照】： l引言凸非球面镜的检验在光学领域中一直是一个难点,特别是大口径大相对孔径的凸非球面镜11?4]。现代光学用于检测凸非球面镜的方法通常包括背部零位补偿检验CGH检验W及Hindle检验M。对于金属材料或者航空航天较常用的SiC材料等非透射式材料,背部补偿检验则明显不适用。经典的

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本文编号：1335586