改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用

发布时间：2017-12-29 04:30

  本文关键词：改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用　出处：《光学精密工程》2017年08期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。
[Abstract]:......
【作者单位】： 长春理工大学理学院;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【基金】：国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189) 吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC;20170312024ZG)
【分类号】：O484;TP18
【正文快照】： 1引言极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)波段内的强吸收作用使得EUV波段的辐射研究十分困难。1972年,E.Spiller首次提出采用高低折射率材料交替制备λ/4波堆的多层膜结构,在理论上可获得较高的非掠入射反射率[1]。这个思路给EUV波段的辐射研究带来了曙光,使这一问题得到了解决

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本文编号：1348829