飞秒激光制备多晶金刚石微结构阵列

发布时间：2017-12-30 12:40

  本文关键词：飞秒激光制备多晶金刚石微结构阵列　出处：《中国激光》2017年03期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势。为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技术加工金刚石微结构阵列,通过实验研究了飞秒脉冲激光加工多晶金刚石材料的工艺参量,重点分析了激光聚焦物镜、激光脉冲能量、重复扫描次数对金刚石微结构形貌和尺寸的影响,得到了符合制作要求的加工参量,并依据加工参量制作出了槽宽为20μm,槽深达45μm的高质量多晶金刚石微结构阵列,测得其表面可承受电子束轰击的最大功率密度为12 W/mm~2。该阵列将可用于制备微阵列阳极X射线源,为实现X射线大视场相衬成像提供关键的光源器件。
[Abstract]:......
【作者单位】： 深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室广东省光电子器件与系统重点实验室;深圳大学信息工程学院;
【基金】：国家重大科研仪器设备研制专项(61227802) 国家自然科学基金青年基金(61605119) 中国博士后面上基金(2016M592529) 中央财政支持地方高校发展基金(000022070142)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 0302007-1自伦琴发现X射线以来,X射线成像技术便被广泛地应用于探测物质内部结构。相较传统的吸收成像,X射线相衬成像对轻元素组成的生物软组织样品或聚合物等物体的密度变化分辨率要高三个数量级以上,具有明显的优势[1]。轻元素组成的物质种类很多,包括碳纤维、硅、有机材料

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本文编号：1354992