激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验

发布时间：2017-12-31 01:19

本文关键词：激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验　出处：《中国激光》2017年04期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：利用声发射仪对脉冲光纤激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程进行了试验研究。在激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程中检测到的声发射信号包含丰富的特征信息;利用声发射信号的幅度、能量计数和撞击计数等特征参数对激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程进行表征;蓝宝石未被切穿时声发射信号表现为声发射事件少,幅度大(90~100dB),能量计数较大,撞击计数较小;蓝宝石被切穿后声发射信号表现为声发射事件多,幅度小(40~80dB),能量计数基本为0,撞击计数较大。
[Abstract]:The process of back wet etching of sapphire by pulsed fiber laser was studied by acoustic emission instrument. The acoustic emission signal detected during laser induced wet etching of sapphire contains abundant characteristic information. Interest; The laser induced back wet etching process of sapphire was characterized by the amplitude of acoustic emission signal, energy count and impact count. When sapphire is not cut through, the acoustic emission signal shows less acoustic emission events, with a large amplitude of 90 ~ 100 dB ~ (-1), larger energy count and smaller impact count. After sapphire is cut through, the acoustic emission signal shows more acoustic emission events, with a small amplitude of 40 ~ 80dB ~ (-1), an energy count of 0 and a large impact count.
【作者单位】：广东工业大学机电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(51575114) 广东省普通高校特色创新项目(2014KTSCX059) 广州市科技计划(201607010156) 广东省自然科学基金(S2013010014070)
【分类号】：TS933.3;TN249
【正文快照】： 1引言蓝宝石具有高耐磨性、高硬度、高熔点及化学性能稳定等特点,是重要的光学元件和半导体衬底材料,广泛应用于工业、国防和科研等领域[1-4]。激光诱导背向湿式刻蚀技术具有加工无重凝层、微裂纹少和热影响区域小等优点,工作液体在加工过程中还能起到冷却工件的作用。Zimme

【相似文献】