新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究

发布时间：2017-12-31 08:14

本文关键词：新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究　出处：《真空科学与技术学报》2017年04期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：在厚度为100μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程。结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光。增强电荷耦合器件拍摄的阵列放电瞬时状态表明,在一个方波驱动周期的两次放电中,共面微腔等离子体阵列放电演变呈现出等离子波动传播的现象,且这两次传播方向相反,传播速度均为10~15 km/s。
[Abstract]:The thickness of aluminum substrate 100 m, fabricated by slot connected hexagonal coplanar micro cavity array, the square wave drive, the micro cavity array discharge in neon light emission in distribution and pressure, the evolution of spectral distribution and discharge. The results show that the connected hexagonal slot coplanar discharge micro cavity array, with the increasing of gas pressure, light intensity distribution from the cavity center position gradually to the side wall of the cavity of the mobile, the emission spectrum of UV visible light for 588 nm and 312 nm. The enhanced CCD array shooting discharge transient state shows that the two discharge in a square wave driving cycle in the coplanar microcavity plasma discharge array evolution shows plasma wave propagation phenomenon, and the two spread in the opposite direction, the propagation velocity was 10~15 km/s.

【作者单位】：西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(No.61372018)
【分类号】：O461;O53
【正文快照】： 微腔等离子体放电是将工作气体限制在微米级的空间中来实现稳定气体放电过程,产生非平衡低温等离子体,微腔等离子体放电空间尺寸小,可在高气压下实现稳定的放电,具备独特的放电特性,如弱电离化,活性粒子多,离子密度高等特点[1]。因此,等离子体的应用领域也非常广泛,可充当紫外

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