径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善

发布时间：2018-01-01 23:28

本文关键词：径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善　出处：《量子电子学报》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：研究了径向偏振型飞秒脉冲激光并将其引入基于双光子吸收理论的微纳加工系统,得到了更高纵向分辨率、更低长径比的二维微纳尺度聚合物结构。对聚焦光场内光强分布的理论模拟表明:径向偏振型飞秒脉冲激光在提高纵向分辨率的同时会在一定程度上降低聚合物结构的横向分辨率,使聚合物结构的长径比降低。用扫描电子显微镜表征聚合物结构得到的结果与理论模拟结果具有良好的一致性。径向偏振型飞秒脉冲激光提高了微纳尺度聚合物结构的纵向分辨率,在激光光刻领域有良好的应用前景。
[Abstract]:The micro - nano - scale polymer structure with higher longitudinal resolution and lower aspect ratio is obtained by using the micro - nano processing system based on two - photon absorption theory . The theoretical simulation of the light intensity distribution in the focused light field shows that the radial polarization type femtosecond pulse laser can reduce the transverse resolution of polymer structure to a certain extent , so that the aspect ratio of the polymer structure is reduced . The results obtained by using scanning electron microscope to characterize polymer structure have good agreement with theoretical simulation results . The radial polarization femtosecond pulse laser has improved the longitudinal resolution of the micro - nano - scale polymer structure and has good application prospect in laser lithography .

【作者单位】：中国科学院理化技术研究所;中国科学院大学;中国科学院重庆绿色智能技术研究院;
【基金】：国家自然科学基金,91323301,61275171,91123032,61275048,61205194 科技部国家纳米重大研究计划,2010CB934100~~
【分类号】：O437;O436.3
【正文快照】： l引言作为近年来得到广泛研究和迅速发展的一种新型微纳加工技术,飞秒脉冲激光双光子加工具有低成本、高分辨率、高精度、真三维等优点W。2001年,日本大阪大学Kawata教授研究组利用780 nm的飞秒脉冲激光双光子光聚合效应,得到了超越衍射极限的120 nm加工分辨率,并制备出微米牛

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