用于低温多晶硅制备的线光束整形系统
本文关键词：用于低温多晶硅制备的线光束整形系统 出处：《中国激光》2017年09期 论文类型：期刊论文
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【摘要】：设计了一套用于准分子激光低温多晶硅制备的线光束整形系统。系统中设置的光斑转换模块可使原始光束截面横纵倒置;利用扩束模块对原始光束的短轴进行准直,其扩束倍率可限定短轴光束尺寸,以配合短轴光束均匀模块的孔径;采用基于透镜阵列的长轴、短轴光束均匀模块可在提高光斑能量分布均匀性的同时,约束光斑尺寸;系统中设置了投影模块,可将光束投影于工件表面。为了实现系统中光学原件的精密定位,设计并加工了配套的机械调节结构;结合仿真实验,讨论了阵列单元的中心偏差及工作面的偏离对线光斑质量的影响。利用该线光束整形系统对自行研制的大能量准分子激光光源进行整形,实测的系统能量传递效率为33%,工件表面的光斑尺寸约为100mm×0.3mm,平均能量密度为470mJ·cm~(-2),长轴能量分布均匀度为93.95%,满足退火技术的要求。
[Abstract]:A linear beam shaping system for preparing low temperature polysilicon by excimer laser is designed. The beam expansion module is used to collimate the short axis of the original beam, and its beam expansion rate can limit the size of the short axis beam to match the aperture of the uniform module of the short axis beam. The long axis and short axis beam uniformity module based on lens array can improve the uniformity of energy distribution and restrict the size of light spot. A projection module is set up in the system, which can project the light beam to the workpiece surface. In order to realize the precise positioning of the optical original in the system, the matching mechanical adjusting structure is designed and machined. The effect of the center deviation of the array element and the deviation of the working face on the quality of the linear spot is discussed in combination with the simulation experiment. The laser source of large energy excimer laser developed by ourselves is shaped by the line beam shaping system. The measured energy transfer efficiency of the system is 33, the spot size on the surface of the workpiece is about 100mm 脳 0.3mm, and the average energy density is 470mJ 路cm ~ (-2). The uniformity of the long axis energy distribution is 93.95, which meets the requirements of annealing technology.
【作者单位】： 中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室;中国科学技术大学;
【基金】：安徽省国际合作项目(1403062009)
【分类号】：TN24;TN304.12
【正文快照】： 0906002-1OCIS codes 140.3300;140.2180;140.3390目前,有源矩阵液晶显示技术和有源有机发光二极管显示技术是两种先进的平板显示技术[1-2]。薄膜晶体管作为有源驱动的核心部件,其性能决定了显示器的信息传递量与传递效率。与非晶硅薄膜晶体管相比,多晶硅薄膜晶体管的电子迁移
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，本文编号：1379180
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