离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响

发布时间：2018-01-22 03:20

  本文关键词： 薄膜 光学特性 离子束辅助沉积 硫化锌薄膜 非均匀性 折射率　出处：《激光与光电子学进展》2017年10期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜制备和设计的难度,尤其是对多层膜系的制备造成了很大的不确定性。研究结果为红外光学ZnS薄膜的研制提供了重要参考。
[Abstract]:The physical and optical properties of ZnS films deposited under different ion beam densities were investigated. The results show that there is an inhomogeneous growth phenomenon in ion beam assisted deposition of ZnS films. The inhomogeneity and refractive index increase with the increase of ion beam density, and the crystallinity of the films increases. The nonuniformity of the films makes the preparation and design of the films more difficult. Especially for the preparation of multilayer system, the research results provide an important reference for the development of infrared optical ZnS films.
【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室;中国科学院大学;
【分类号】：O484.41
【正文快照】： ZnS既是一种重要的半导体材料,也是一种被广泛使用的光学薄膜材料。因具有较宽带隙,ZnS在光电子领域得到了应用广泛[1-2],同时因具有从可见至远红外的宽透光区、中等折射率、易于沉积等特点,ZnS也被广泛用于制作红外宽光谱增透膜、介质滤光片等光学薄膜器件[3-4]。ZnS薄膜的制

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本文编号：1453483