微米级圆孔孔径的光电检测

发布时间：2018-01-26 05:29

本文关键词： 微米孔径圆孔衍射光电检测双光路激光　出处：《大学物理》2017年11期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：工业生产中经常需要测量微米级圆孔孔径的大小.基于圆孔的夫琅禾费衍射原理,激光经过圆孔衍射在接收屏上形成圆环型条纹分布,孔径改变时,艾里斑区域的激光能量密度随之改变,利用光电池作为光电探测器,只接收大部分艾里斑中心光强信号而屏蔽其他高级次的衍射亮环,光电池输出的电压值反应了孔径直径大小.单片机作为控制系统,采用双光路的光电检测方法,搭建了检测系统.利用已知孔径的圆孔标定系统后,获得电压信号与孔径大小的对应关系,通过拟合可以得到检测系统的函数关系式.实验表明,可以实现50~300μm孔径大小的检测.
[Abstract]:The measurement of micron grade aperture often needed in industrial production. The size of the Fraunhofer diffraction principle based on laser hole, through hole diffraction on the receiving screen to form circular fringes, aperture changes, Elliot laser energy density spots changed, using solar cells as the photoelectric detector, only receiving most Elliot the spot light intensity signal and other higher order diffraction light shielding ring, light battery output voltage value reflects the aperture diameter. The microcontroller as a control system, using photoelectric detection method of double optical path, build a measurement system. The calibration system using circular aperture known after getting the corresponding relationship with the pore size of the voltage signal and the function relation can be obtained by fitting the detection system. The experimental results show that 50~300 can detect m pore size.

【作者单位】：广州大学物理与电子工程学院;
【基金】：广州市属高校科技计划项目(1201420896) 广东省自然科学基金项目(2015A030310832) 广州大学教育教学研究项目(JY201548) 第十五届全国“挑战杯”项目广东省科技计划项目(2016A070711019)资助
【分类号】：O436.1
【正文快照】： 工业生产中经常会使用到微米级孔径零件,如微孔过滤网、雾化器、喷油嘴、喷丝板、拉丝头等,可以通过激光烧蚀或者微细电火花[1]等加工方式获得.加工制备和使用过程中孔径检测不可避免,目前微小孔径检测的方法也有很多,如采用微小探针[2,3]、脱模[1,4]和白光干涉[5]等方法,或者

【相似文献】