SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展

发布时间：2018-02-12 07:15

  本文关键词： 集成光学 光波导 表面粗糙度 散射损耗　出处：《激光技术》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：SOI纳米光波导表面粗糙度会显著增加波导散射损耗,降低表面粗糙度是其在许多方面应用中亟待解决的关键问题之一。首先介绍了表面粗糙度概念,总结了表面散射损耗理论方面的研究进展。随后回顾了多种SOI纳米光波导表面粗糙度测量方法,以及在表面形貌表征中存在的问题。此外,还对几种波导表面光滑工艺进行介绍,并结合具体的工作对光波导表面粗糙度各方面研究进展进行了总结。
[Abstract]:The surface roughness of SOI nanoscale optical waveguide will increase the scattering loss of waveguide, and reducing the surface roughness is one of the key problems to be solved in many applications. Firstly, the concept of surface roughness is introduced. The research progress in the theory of surface scattering loss is summarized, and several methods for measuring surface roughness of SOI nanoscale optical waveguide are reviewed, as well as the problems in surface morphology characterization. Several surface smoothing techniques are also introduced, and the research progress on surface roughness of optical waveguide is summarized.
【作者单位】： 太原理工大学信息工程学院;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室-微纳系统研究中心;中北大学计算机与控制工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61471255;61474079;61501316;51505324) 国家八六三高技术研究发展计划资助项目(2015AA042601) 教育部博士点基金资助项目(20131402110013) 山西省青年基金资助项目(2014021023-3)
【分类号】：TN252

【参考文献】

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【共引文献】

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