紫外固化系统热辐射滤光膜的研制

发布时间：2018-02-25 03:27

本文关键词： 薄膜紫外固化系统热辐射过渡层滤光膜　出处：《中国激光》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了降低紫外固化系统光源的热辐射,根据光学薄膜理论,以HfO_2、AlF_3和Cr作为镀膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,设计了紫外高反射、可见/近红外高吸收的滤光膜。通过在基底和膜系之间增镀Al膜作为过渡层,提高了薄膜的牢固性。通过优化工艺参数,研制了220~400nm波段平均反射率为90.6%、420~2000nm波段平均吸收率为92.4%的滤光膜。
[Abstract]:In order to reduce the thermal radiation of ultraviolet curing system, according to the theory of optical thin film, HfO _ 2AlF _ 3 and Cr were used as coating materials, and the structure of combination of reflection and absorption was adopted to design ultraviolet high reflectance. Visible / near infrared high absorption filter film. By adding Al film as transition layer between substrate and film system, the fastness of film is improved. A filter film with an average reflectivity of 90.6 ~ 420nm and an average absorptivity of 92.4% at 400 nm was prepared.
【作者单位】：长春理工大学光电工程学院;凯里学院物理与电子工程学院;
【基金】：吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX) 贵州省科学技术基金博士基金(黔科合J字[2014]2148,黔教合重大专项字[2014]037)
【分类号】：TN23;O484

【参考文献】

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