基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工

发布时间：2018-03-24 07:35

  本文选题：激光光学　切入点：三维微纳加工　出处：《激光与光电子学进展》2017年04期

【摘要】：介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其对材料加工产生的影响。介绍了时空聚焦技术在强场物理领域中的应用,并对该技术的适用范围进行了讨论。最后对该技术的特点和应用进行总结,并指明了未来的研究方向。
[Abstract]:This paper introduces the basic principle of femtosecond laser space-time focusing technology, and reviews its application in improving the resolution of femtosecond laser processing. The applications of suppressing the nonlinear effect in machining process and improving the processing quality of materials are discussed. The special light field characteristics of time-space focusing femtosecond laser pulses, such as pulse front tilt, light intensity plane tilt and so on, are discussed in detail. This paper introduces the application of space-time focusing technology in the field of strong field physics. Finally, the characteristics and applications of the technology are summarized, and the future research direction is pointed out.
【作者单位】： 洛阳师范学院物理与电子信息学院;中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室;中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所;
【基金】：国家自然科学基金(11304330) 河南省高等学校重点科研项目(17A140023) 洛阳师范学院国家级培育基金(2015-PYJJ-001)
【分类号】：TN249

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本文编号：1657361