飞秒激光加工ZnS晶体沟槽形貌及其疏水性能研究
本文选题:ZnS 切入点:飞秒激光 出处:《应用激光》2017年03期
【摘要】:ZnS材料具有良好的光学和电学性能,是一种重要的半导体材料,在电学,光学和催化领域有巨大的应用前景。研究了飞秒激光能量和扫描速度对ZnS表面形貌及其疏水性能的影响规律。研究发现,随着激光能量增加沟槽深度和宽度增加,同时沟槽深度变化更为显著;扫描速度减小时,沟槽深度和宽度增加,沟槽边缘质量更好。在此基础上,研究了扫描速度对ZnS表面湿润特性的影响。实验结果表明,扫描速度越小,沟槽形貌越粗糙,其表面疏水性能更强,实验获得的最大疏水角为140°。
[Abstract]:ZnS materials with good optical and electrical properties, is an important semiconductor material in electricity, The effects of femtosecond laser energy and scanning speed on the surface morphology and hydrophobic properties of ZnS are studied. It is found that the depth and width of grooves increase with the increase of laser energy. At the same time, the change of groove depth is more remarkable, the depth and width of groove increase with the decrease of scanning speed, and the quality of groove edge is better. On this basis, the influence of scanning velocity on the wetting characteristics of ZnS surface is studied. The smaller the scanning speed, the rougher the groove morphology, the stronger the hydrophobicity of the surface, and the maximum hydrophobic angle is 140 掳.
【作者单位】: 中南大学高性能复杂制造国家重点实验室;中南大学机电工程学院;
【基金】:国家自然科学基金资助项目(项目编号:51335011,51475481,51475482) 教育部“新世纪优秀人才支持计划”资助项目(项目编号NCET-12-0548) 中南大学中央高校基本科研业务费专项资助项目
【分类号】:TN249;TN304.2
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本文编号:1658784
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