使用椭偏光谱研究氮化铝薄膜在不同温度下的光学性质（英文）

发布时间：2018-03-28 19:41

  本文选题：氮化铝　切入点：椭偏仪　出处：《红外与毫米波学报》2017年03期

【摘要】：通过椭偏仪对生长在蓝宝石上的不同厚度氮化铝薄膜的变温光学性质进行了研究,并采用托克-洛伦兹模型对椭偏实验数据进行了拟合分析,精确得到了氮化铝薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)等.研究的结果表明:相比薄的氮化铝薄膜,厚的氮化铝薄膜的折射率较大.随着温度的升高,氮化铝的折射率、消光系数和带隙会向低能端单调地移动(红移);厚度对带隙随温度改变的影响较小,对折射率则有一定的影响.
[Abstract]:The optical properties of aluminum-nitride thin films with different thickness grown on sapphire have been studied by ellipsometry, and the experimental data of ellipsometry have been fitted and analyzed by using Tock-Lorentz model. The thickness and optical constant (refractive index n, extinction coefficient k) of aluminum nitride thin film are obtained accurately. The results show that the thickness of aluminum nitride film is larger than that of thin aluminum nitride film, and with the increase of temperature, the thickness of aluminum nitride film is larger than that of thin aluminum nitride film. The refractive index, extinction coefficient and band gap of aluminum nitride move monotonously to the low energy end (red shift); the thickness has little effect on the change of band gap with temperature, but has certain effect on refractive index.
【作者单位】： 广西大学物理科学与工程技术学院广西相对论天体物理重点实验室光电子材料与探测技术实验室;华中科技大学武汉光电国家实验室;
【基金】：National Natural Science Foundation of China(61367004,11604058) Guangxi Key Laboratory for Relativistic Astrophysics-Guangxi Natural Science Creative Team funding(2013GXNSFFA019001) Guangxi Natural Science Foundation(2016GXNSFBA380244)
【分类号】：O484.41

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