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甲烷气体探测与识别系统窄带滤光膜的研制

发布时间:2018-05-11 06:17

  本文选题:薄膜 + 拆分技术 ; 参考:《中国激光》2017年03期


【摘要】:依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明,3.31μm单点透射率为93.7%,通带半峰全宽为49nm,1~3.2μm和3.4~5μm波段平均透射率为0.17%,满足系统使用要求。
[Abstract]:According to the theory of optical thin film and the characteristics of optical materials, the design of double-sided film system is realized by using the principle of split technology, combining with the design software of film system, which solves the problem of too thick film layer and too large stress. The inverse analysis method is used to reverse the experimental results and the reasons for the error are analyzed through the study of the sensitivity distribution of the film layer. The sensitive layer thickness of the film system can be precisely controlled by different monitoring methods. The results show that the transmittance of 3.31 渭 m is 93.7 渭 m, the full width of half peak of passband is 49nmnmnmtl 3.2 渭 m and the average transmittance of 3.4 渭 m band is 0.17, which can meet the requirement of the system. The results show that the average transmittance of the filter film is 0.17 渭 m, and the half-width of the pass band is 1.3.2 渭 m and 3.4 渭 m, respectively.
【作者单位】: 长春理工大学光电工程学院;
【基金】:吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX)
【分类号】:TN21;O484

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本文编号:1872769

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