氧化硅光波导侧壁角测量精度的提高

发布时间：2021-08-05 05:34

　　氧化硅波导芯层的侧壁粗糙度和角度是导致器件产生光损耗的主要原因之一。为精确测量沉积包层后氧化硅波导芯层侧壁角,研究了一种利用光学成像显微镜测量波导侧壁角度的方法,并详细分析了引起测量误差的显微物镜放大倍数与成像特征之间的关系。根据理论分析对波导侧壁角度的测量值进行了校正,获得的实验结果与激光共聚焦测量结果相一致。利用该测量方法对10组已沉积包层波导芯层侧壁角度进行了测量并与未沉积包层时激光共聚焦的测量结果进行对比,得出测量精度在±1°以内。该方法为沉积包层后氧化硅波导器件芯层侧壁角度测量提供了一种精确可行的方案。 

【文章来源】：光学精密工程. 2020,28(12)北大核心EICSCD

【文章页数】：8 页

【部分图文】：

波导结构与测试放置示意图

BMM-50型显微镜成像系统示意图

显微镜观察时将波导底边成像分为对称的两部分

【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3323168