GaAs基多结太阳电池TiO 2 /Al 2 O 3 /SiO 2 减反射膜的设计与制备

发布时间：2021-08-20 02:53

　　宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要。设计和制备了宽光谱TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三层减反射膜。理论研究发现,当TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三层减反射膜最佳物理厚度为41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm时,在350¹ 800 nm宽光谱范围内获得最小有效反射率为2.85%。依据理论设计,采用真空电子束蒸发法制备了相应厚度的TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三层减反射膜,分光光度计测试结果表明,在350¹ 800 nm宽光谱范围内,有效反射率为7.21%,且在485 nm和850 nm波长附近获得反射率极小值4.39%和2.16%。 

【文章来源】：微纳电子技术. 2017,54(01)北大核心

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0 引言
1 TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜的优化设计
    1.1 设计理论
    1.2 优化结果与分析
        1.2.1 各膜层折射率偏差对膜系Re的影响
        1.2.2 各膜层厚度偏差对膜系Re的影响
2 TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜的制备与性能分析
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]AlxGa1-xAs/GaAs太阳电池MgF2/ZnS双层减反射膜的研究[J]. 袁海荣,向贤碧,常秀兰,陆大成.  太阳能学报. 2000(04)



本文编号：3352665