阵列型大气压冷等离子体射流均匀性控制及特性实验研究

发布时间：2021-11-07 22:50

　　大气压冷等离子体放电技术的迅速发展推动阵列型大气压冷等离子体射流技术在近年来成为国际上等离子体科学与技术领域研究的热点之一。这一技术的主要优点在于:击穿电压低,产生的活性粒子密度高、射流的长度较长;而且易于安装和拆卸,可重复利用;鲁棒性好。上述优点不仅大大加强了大气压放电技术在薄膜沉积、气相沉积等材料表面改性技术应用方面的优势,而且进一步拓宽了其在环境工程和医疗卫生领域的应用前景,更加深了相距较远的不同学科之间深度的交流融合,对大气压等离子体放电理论与技术的发展有重要意义。在这个发展过程中,该技术也面临着一些不断出现的挑战。其中,阵列型大气压冷等离子体射流的下游工作区待处理材料表面附近等离子体的不均匀性问题是一个亟待解决的问题。本论文针对阵列型大气压冷等离子射流技术和均匀性问题,研究三种不同的阵列型大气压冷等离子射流结构:(1)平行双管阵列结构;(2)蜂巢型七管阵列结构;(3)线性七管阵列结构。这些结构采用多个相同电极的组合排列形成不同阵列,可以作为今后实现大型化射流源的基元部件。通过对所产生射流的整体形状调制、以及电学诊断与光学诊断等方法,对阵列型大气压冷等离子体的均匀性控制和放电特...

【文章来源】： 哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校

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摘要
ABSTRACT
第1章 绪论
    1.1 课题来源、研究目标与科学意义
    1.2 等离子体概述
    1.3 气体放电概述
    1.4 大气压冷等离子体射流研究概况
        1.4.1 大气压冷等离子体射流研究现状
        1.4.2 大尺度大气压冷等离子体射流的研究概况
    1.5 阵列型大气压等离子体射流概述
        1.5.1 阵列型大气压射流等离子体均匀性控制现状
        1.5.2 关于阵列型大气压冷等离子体均匀性简析
    1.6 本文研究主要内容
第2章 诊断方法以及射流结构设计
    2.1 引言
    2.2 实验装置和诊断方法
        2.2.1 单管射流结构
        2.2.2 实验装置
        2.2.3 诊断方法
    2.3 阵列电极形位设计
        2.3.1 双管阵列电极形位设计
        2.3.2 蜂巢型七管阵列电极形位设计
    2.4 本章小结
第3章 外施参量对双通道等离子体射流的影响研究
    3.1 引言
    3.2 氩气工况下等离子体射流基本特性研究
        3.2.1 驱动电压对等离子体射流的影响
        3.2.2 驱动频率对等离子体射流的影响
        3.2.3 气体流速对等离子体射流的影响
    3.3 氦气工况下等离子体射流基本特性研究
        3.3.1 驱动电压对等离子体射流的影响
        3.3.2 驱动频率对等离子体射流的影响
        3.3.3 气体流速对等离子体射流的影响
    3.4 等离子体射流弥合及均匀性研究
    3.5 本章小结
第4章 大尺度多通道冷等离子体射流阵列化研究
    4.1 引言
    4.2 “一字型”结构冷等离子体射流阵列
        4.2.1 实验设置
        4.2.2 结果与讨论
    4.3 “蜂巢型”结构冷等离子体射流阵列
        4.3.1 实验设置
        4.3.2 结果与讨论
    4.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
致谢


【参考文献】：
期刊论文
[1]大气压介质阻挡放电等离子体射流源研究进展 [J]. 聂秋月,张晓菲,李和平,包成玉.  中国科学:物理学 力学 天文学. 2014(11)

博士论文
[1]大气压冷等离子体射流实验研究[D]. 聂秋月.大连理工大学 2010

硕士论文
[1]常压射频容性放电氩等离子体中活性气体对放电特性的影响[D]. 武启.大连理工大学 2010



本文编号：3482537