一种新型拉曼显微成像横向空间分辨力检测方法

发布时间：2021-11-25 14:04

　　空间分辨力是拉曼显微成像系统成像性能的关键指标。提出了一种基于金属镀膜方法的拉曼成像横向空间分辨力检测模体,通过理论分析和数值模拟建立了成像系统分辨力与成像对比度的关系,设计并制作了硅-铬、硅-空气和PDMS-空气三种不同材料、不同线宽的检测模体,通过实验对模体进行了检测,对不同材料模体的实验结果进行了比较。实验结果表明,基于金属镀膜的分辨力模体可用于检测拉曼成像横向分辨力,与其他模体相比具有更高的精度和重复性。 

【文章来源】：计量技术. 2020,(05)

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

三线靶标成像过程

图2是像函数沿垂直于靶标方向的拉曼信号的强度-位移曲线。根据强度-位移曲线，可计算得到像函数的Michelson对比度。对于同一个系统而言，空间频率越高，对比度越低，当对比度达到分辨阈值时，该频率对应的靶标尺寸即为分辨力。可通过数值模拟的方法建立对比度与分辨力之间的理论关系。通过调整高斯函数的半高全宽可以模拟不同分辨力的成像系统。用高斯函数与不同宽度的靶标图案卷积，即可得到相应条件下的对比度。当系统分辨力为1μm时，设定高斯函数半高全宽为1μm，对比度与靶标尺寸的对应关系如图3所示。该曲线中1μm靶标宽度对应的对比度，可作为靶标能否被分辨的阈值，为实验测量提供依据。

可通过数值模拟的方法建立对比度与分辨力之间的理论关系。通过调整高斯函数的半高全宽可以模拟不同分辨力的成像系统。用高斯函数与不同宽度的靶标图案卷积，即可得到相应条件下的对比度。当系统分辨力为1μm时，设定高斯函数半高全宽为1μm，对比度与靶标尺寸的对应关系如图3所示。该曲线中1μm靶标宽度对应的对比度，可作为靶标能否被分辨的阈值，为实验测量提供依据。2 实验与结果

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于三线靶标法的在轨MTF评价方法及其精度分析研究[J]. 王琦,李显彬,李晓辉,唐伶俐.  遥感信息. 2011(01)
[2]基于刃边法与正则化方法的遥感影像复原[J]. 徐源璟,汪俏珏,沈焕锋,李平湘,张洪艳.  测绘信息与工程. 2010(06)



本文编号：3518289