基于光散射理论的玻璃晶圆表面缺陷检测方法研究

发布时间：2022-05-08 15:38

　　本文对玻璃晶圆加工过程中常见的三种缺陷类型——颗粒缺陷、气泡缺陷、三角形划痕的散射光强进行分析,发现不同缺陷结构在空间中有不同的散射光强分布特点,可以建立缺陷结构与散射光强空间分布的对应关系;同时针对产线中晶圆表面微米量级缺陷,进行了不同尺寸颗粒缺陷的散射光强度计算,得出了微米级别缺陷尺寸与散射光强度之间的关系曲线。从而提出一种非成像缺陷检测方法:检测获取缺陷散射光强值与空间分布,利用散射光空间分布结构确定缺陷结构以及利用散射光强计算缺陷尺寸,从而间接确定缺陷信息,达到缺陷检测的目的。为晶圆产业应用过程中的缺陷快速检测提供方法参考。 

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 引言
2 缺陷外形结构与散射光空间分布
3 缺陷尺寸与散射光强
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]激光散射式技术在钢球表面缺陷检测中的应用[J]. 马贤淑,华云松,杨海马,王光斌.  激光与红外. 2015(11)
[2]光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统[J]. 杨甬英,陆春华,梁蛟,刘东,杨李茗,李瑞洁.  光学学报. 2007(06)
[3]Mie光散射理论的数值计算方法[J]. 项建胜,何俊华.  应用光学. 2007(03)
[4]最近的超精密测量技术的研究状况与展望[J]. 松本弘一,柯丰.  现代测量与实验室管理. 1993(04)

博士论文
[1]精密表面缺陷检测散射成像理论建模及系统分析研究[D]. 王世通.浙江大学 2015

硕士论文
[1]纳米级激光外差干涉检测系统的设计与实现[D]. 朱祥.中北大学 2017
[2]IC晶圆表面缺陷检测技术研究[D]. 马磊.电子科技大学 2015



本文编号：3651920