合肥光源的衍射光栅制备技术

发布时间：2023-03-30 01:34

　　<正>衍射光栅是合肥光源光束线中重要的分光元件。本文介绍伴随合肥光源而发展起来的衍射光学元件精密加工实验室衍射光栅制备技术及相关工作进展。一、引言合肥同步辐射装置是工作在真空紫外-软X射线波段的连续光源。在真空紫外-软X射线波段通常使用光栅单色器分光,将所需的单色光从同步辐射光源中分离出来。衍射光栅是合肥光源重要的色散元件。国家同步辐射实验室成立了光学组,并逐步发展成现在的衍射光学元件精密加工实验室,

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
一、引言
二、光栅单色器概述
三、发展历程及为合肥光源研制的同步辐射衍射光栅
四、合肥光源的同步辐射衍射光栅特色技术
    4.1全息光刻-离子束刻蚀衍射光栅简介
    4.2大尺寸光栅关键工艺设备研制
    4.3光刻胶光栅的等离子体灰化技术
    4.4离子束刻蚀技术
五、总结



本文编号：3774911