GaN基垂直腔面发射蓝光激光器的结构设计与研究

发布时间：2023-06-03 18:40

　　<正>垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)不同于其他普通光源,它具有较小的圆心光斑输出,单颗器件尺寸仅在立方微米级别,还可以利用半导体工艺进行大规模的生产,所以其价格十分低廉、激发的电流低、且易于集成大面积阵列。其广泛应用于激光通信、激光存储、激光打印等领域。目前,Ga As基的VCSEL器件在国内的研究已经比较成熟,且已产业化,而Ga N基的VCSEL器件的研究尚未成熟。Ga N基VCSEL器件制备当前面临的难题是三个中心波长的对准问题,即分布式布拉格反射镜(DBR)构成的谐振腔决定的谐振波长,腔的光学长度决定的谐振波长,有源区的发光波长的一致性问题。

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本文编号：3829831