MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现

发布时间：2018-05-21 20:44

  本文选题：MEMS微半球谐振陀螺 + 力反馈　； 参考：《仪表技术与传感器》2017年06期

【摘要】：MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。
[Abstract]:MEMS(micro-electro-mechanical micro gyroscope has the advantages of small size, light weight, low power consumption and low cost. It is a hot research topic in the field of MEMS micro gyroscope. In this paper, the working principle and detection method of micro hemisphere resonant gyroscope are analyzed. Aiming at the high working frequency and high quality factor of MEMS microhemispherical resonator gyroscope, a digital closed-loop control detection scheme for MEMS microhemispherical resonator gyroscope in digital force feedback mode and its hardware implementation on FPGA platform are presented. The control and detection of MEMS micro-hemispherical resonator gyroscope are completed.
【作者单位】： 微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系;
【分类号】：TN791;TN96

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1920752