反应烧结碳化硅表面同步改性机理及CMP去除实验研究

发布时间：2021-06-24 20:58

　　随着太空激光雷达系统、高精度空间望远镜等空间应用技术的高速发展,反应烧结碳化硅（RB-SiC）作为理想的太空反射镜材料得到广泛关注与研究。但由于RB-SiC陶瓷材料有极大的硬度,同时由制备工艺决定其内部由两相性能不同组织构成,导致现有的加工技术难以制造出满足性能要求的RB-SiC反射镜。化学机械抛光（CMP）可以提高RB-SiC反射镜的研抛效率,同时抛光后的工件具有较好的表面质量。利用CMP技术加工RB-SiC是解决其难加工的思路之一。化学机械抛光（CMP）技术是利用化学与机械协同作用对工件进行去除,在研究RB-SiC化学机械抛光过程时,需要探讨芬顿氧化体系对烧结SiC表面同步改性的作用机理与效果,建立化学氧化改性模型,利用实验研究抛光液中不同参数的芬顿体系氧化液对RB-SiC同步氧化的影响规律。建立抛光去除模型,利用仿真研究不同抛光工艺参数下工件下表面的接触压力。建立化学机械协同实验,研究各参数改变对材料去除率与表面质量的影响,得出RB-SiC的最佳CMP条件参数。本文主要研究内容如下:（1）分析抛光液中化学成分对RB-SiC改性层厚度的影响,本文利用表面双向扩散原理与经典Deal-... 

【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

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【学位级别】：硕士

【部分图文】：

碳化硅反射镜应用实例

图 1.2 扫描电镜下的 RB-SiC 表面α-SiC的区别在于晶体结构不同，β-SiC为面心立方晶型，闪高、低温稳定性高[24]。α-SiC为六方体晶型，为纤锌矿结构结构体图和3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC的晶胞堆积图，其中iC、6H-SiC为α-SiC。(a) 闪锌矿结构 (b) 纤锌矿结构

图 1.2 扫描电镜下的 RB-SiC 表面β-SiC和α-SiC的区别在于晶体结构不同，β-SiC为面心立方晶型，闪锌矿结SiC的硬度高、低温稳定性高[24]。α-SiC为六方体晶型，为纤锌矿结构。图 1.3SiC和α-SiC结构体图和3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC的晶胞堆积图，其中3C-SiC属SiC、4H-SiC、6H-SiC为α-SiC。(a) 闪锌矿结构 (b) 纤锌矿结构

【参考文献】：
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本文编号：3247816