2m量级SiC非球面反射镜的摆臂轮廓检测

发布时间：2017-10-11 20:18

  本文关键词：2m量级SiC非球面反射镜的摆臂轮廓检测

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【摘要】：提出采用摆臂式轮廓检测的方法,实现超大口径Si C反射镜面形的高精度轮廓检测。阐述了采用摆臂轮廓仪检测超大口径反射镜的基本原理和具体实施流程;介绍了基于扫描线交点高度一致性的特点进行面形重构的算法,以及针对离焦量测量不准的问题,采用激光跟踪仪对面形离焦量进行辅助测量的手段,建立了综合优化的检测模型;结合实例对口径为2040 mm的同轴抛物面Si C反射镜进行了摆臂轮廓检测,检测精度均方根(RMS)为0.46μm,与干涉仪检测结果对比偏差0.03μm。该技术与加工机床集成实现了反射镜的在位检测,以非球面的最接近球面为测量基准,提供了一种精确、高效地测量超大口径光学非球面面形的方法,满足了大口径Si C反射镜在研磨阶段的高精度轮廓检测需求。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 摆臂轮廓检测 大口径非球面 SiC 最接近球面
【基金】：国家973计划(2011CB013205) 国家自然科学基金(61210015)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言超大口径光学系统具有角分辨率高、能量收集能力强的特点,被广泛用于天文观测和空间对地观测,而大口径反射镜作为光学系统的关键元件,其加工工艺复杂、检测难度大、加工周期长,是各国投入大量资金和人力物力研发的关键技术之一。由于Si C材料具有优越的性能,如比刚度大、

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本文编号：1014536