辉光放电光谱激发源的射频功率驱动及自动控制系统

发布时间：2017-10-11 20:33

  本文关键词：辉光放电光谱激发源的射频功率驱动及自动控制系统

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【摘要】：射频辉光放电原子发射光谱仪(RF GD-OES)的显著优势在于既能分析导体样品,又能直接分析非导体固体样品,在微纳米非金属涂镀层材料的逐层分析领域有着广泛应用。为此,介绍了射频辉光放电光谱激发源采用的射频功率电源及功率匹配器的工作原理,并结合双向可控硅交流调压技术研制了射频电源的计算机自动控制系统,给出了射频输出信号的计算机控制结果。采用本射频功率驱动及自动控制系统,结合自行研制的Grimm型辉光放电激发源,对有机防腐涂层样品进行了溅射激发,溅射效果良好。给出了溅射坑表面形貌图以及显微照片,经实验测得,逐层溅射速率为52.9 nm/s。采用本系统对1Cr18Ni9Ti不锈钢标准样品进行了分析精密度测试,Cr、Cu、Ti、Al元素测试结果相对标准偏差(RSD)均2.6%。
【作者单位】： 河北大学电子信息工程学院;瑞士柯帕斯服务有限公司北京代表处;
【关键词】： 射频 功率匹配 辉光放电 光谱仪 溅射 等离子体 可控硅
【基金】：国家自然科学基金(61440006) 河北省自然科学基金(B2014201008)~~
【分类号】：TH744.11
【正文快照】： 0引言1辉光放电等离子体原子发射光谱仪(GD-OES)是一种可以对材料表面进行溅射激发、并分析其成分的大型分析仪器。被测材料表面在直流高压或射频功率的作用下,产生辉光等离子体特征光谱,分析此光谱信息可对材料表面各元素进行定性、定量分析。由于对样品表面的原子化是逐层进

【参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：1014609