用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法

发布时间：2017-10-13 23:07

  本文关键词：用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法

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【摘要】：针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,分析了机械定位误差对拼接检测精度的影响。实验表明:拟合出的平移定位系数精度高于旋转定位系数精度,与理论分析一致;相对于一般算法,该算法对机械误差有较强的免疫力。在搭建的拼接检测装置上检测了口径为150mm的平面镜,结果显示:拼接结果与干涉仪直接检测的全口径相位残差的分布峰谷值(PV)为0.015 30λ,均方根值(RMS)为0.001 570λ,得到的结果十分接近,验证了该算法稳定可靠,能够合理有效地补偿机械精度引起的子孔径定位误差。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 拼接干涉检测 子孔径拼接 机械定位误差 补偿算法 大口径平面镜
【基金】：国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)
【分类号】：TH744.3;TH161
【正文快照】： 2.中国科学院大学,北京100049)1引言在光刻技术、天文光学、空间光学、惯性约束聚变(ICF)等高技术领域,大口径光学系统的应用越来越广泛。大口径光学系统中光学元件的制造需要高精度的检测方法和仪器[1],其中,子孔径拼接干涉检测是一种高精度检测大口径光学元件的有效方法。相

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本文编号：1027580