一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

发布时间：2017-10-18 14:35

  本文关键词：一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

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【摘要】：介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器。光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易实现遥控等特点。根据MEMS的尺寸及性能要求建立开关及微驱动器模型,并得到所需最大驱动力。通过计算得出具有一定尺寸光致形变薄膜的等效弯曲行为,并将其应用到MEMS开关微驱动器上。运用ANSYS对微驱动器及闭锁机构仿真分析,根据仿真结果对结构进行改进,确定了采用多层薄板结构的方案,以满足最大驱动力要求。
【作者单位】： 中北大学机电工程学院;
【关键词】： 光致形变聚合物 MEMS 开关 等效弯曲 微驱动器 ANSYS
【分类号】：TH-39;TH703
【正文快照】： 0引言MEMS(Micro Electro-Mechanical System)是指在集成电路工艺基础上发展起来的,集微传感器、微型机构、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件于一体的能完成某种特定功能的机械装置或系统[1,2]。目前,MEMS技术因其具有微型化、集成化、多样化、智能化等特

【参考文献】

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【共引文献】

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【相似文献】

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