Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术

发布时间：2017-10-18 18:51

  本文关键词：Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术

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【摘要】：为保证大口径平面面形的高精度检测,必须对大口径平面标准镜自身的精度进行严格控制。在考虑标准镜自身重力的作用下,通过有限元方法仿真分析了不同粘胶位置以及不同镜框支撑方式下参考面面形的变化。根据分析结果,设计了口径300 mm的平面标准镜支撑方式,镜片采用12点粘胶与镜框固定,镜框下表面采用旋转补偿的方式寻找最优支撑方案。对加工完成的Φ300 mm平面标准镜进行了集成装配,装配结果显示支撑引入的参考面面形变化约为1.294 nm[均方根(RMS)值],与仿真分析结果吻合,并且满足大口径平面检测的检测需求。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心;
【关键词】： 光学设计 光学检测 平面标准镜 有限元法 参考面面形
【基金】：国家科技重大专项-02专项基金(2009ZX02205)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言随着微电子加工制造业的发展,核心器件的刻线分辨率已经由纳米级向亚纳米级逼近,刻线的分辨率主要取决于光刻物镜的光学性能。要实现如此高的光刻分辨率,光刻投影物镜的光学元件面形精度要达到纳米量级[1]。这些高精度的面形一般是通过菲索干涉仪进行检测的,作为菲索干涉

【参考文献】

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8 张聪e，

本文编号：1056560