极小孔径衍射波前测试分析

发布时间：2017-10-19 07:06

  本文关键词：极小孔径衍射波前测试分析

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【摘要】：研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法。设计并搭建了衍射波前测试装置,对光纤衍射波前进行了测评实验。为了验证测试方法的有效性,分别对采集的衍射图像与重构的衍射图像,以及测试获得的振幅分布与理论计算获得的振幅分布进行了对比。结果显示。采集图像与重构图像之间的差异为0.32%,验证了采用相位复原技术进行衍射波前测试方法的有效性。同时,对干涉方法测量与相位复原结果进行了对比,二者差异仅为0.001 4λRMS。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前
【基金】：国家重大科技专项资助项目
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言点衍射干涉仪是一种测量精度极高的光学检测设备。它采用极小孔径衍射作为测试基准波前[1],可为高精密光刻投影物镜的研制提供技术支持[2-4]。极高质量球面衍射基准波前是点衍射干涉仪实现高精度测量的重要前提,因此对它进行测评是点衍射干涉仪研制过程的重要环节之一。2

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 于杰;;用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法[J];中国光学与应用光学;2010年06期

2 张海涛;;基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模[J];中国光学与应用光学;2010年06期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 邵卫红;杨甬英;陈晓钰;刘东;沈亦兵;;点衍射干涉系统光学结构参数优化研究[J];强激光与粒子束;2014年05期

2 王道档;杨甬英;邵卫红;陈晓钰;;球面干涉检测中改进的调整误差校正方法[J];浙江大学学报(工学版);2012年10期

3 邵晶;马冬梅;;基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系统[J];应用光学;2013年01期

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中国博士学位论文全文数据库 前5条

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3 邵晶;点衍射干涉仪基准波前质量测评研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

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中国硕士学位论文全文数据库 前7条

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2 陈琛;基于FDTD方法的点衍射理论建模及分析研究[D];浙江大学;2012年

3 周宇轩;镀膜小孔点衍射干涉仪的设计与调试[D];南京理工大学;2012年

4 褚光;点衍射干涉仪中小孔尺寸对衍射光强分布影响的研究[D];南京理工大学;2012年

5 江浩;无透镜相干衍射成像的理论和实验研究[D];山东师范大学;2013年

6 张城;点衍射干涉仪关键器件设计与基准波前分析[D];南京理工大学;2014年

7 邵卫红;点衍射干涉检测系统光学结构参数优化及误差分析研究[D];浙江大学;2014年

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本文编号：1059702