非线性振动条件下估算谐振梁品质因数

发布时间：2017-10-20 19:28

  本文关键词：非线性振动条件下估算谐振梁品质因数

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【摘要】：硅微谐振式加速度计在真空封装后出现非线性振动,导致测量品质因数的常规方法失效。为了能对真空封装的加速计进行精确监测,提出了一种品质因数测量方法。该方法基于谐振梁的非线性振动模型,通过将扫频数据按照模型公式拟合得到品质因数,适用于非线性振动时的情况。利用谐振式加速度计进行实验,验证了该方法的一致性和准确性,测得加速度计品质因数均在2×105以上。使用该方法对真空封装的气压与品质因数的关系进行了研究,表明真空封装的气压保持在0.1Pa左右;并对真空封装进行了温度实验和长期跟踪,证明了真空封装的可靠性。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室;
【关键词】： 谐振加速度计 非线性振动 品质因数 真空封装
【基金】：总装“十二五”预研项目(20114113015)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 谐振器由于微尺寸效应,一般需要依靠一定的真空环境才能良好工作。这类传感器要实现更高的分辨率和更大的动态范围等,就需要获得更低的阻尼及更高的品质因数[1-2]。品质因数反映了器件封装内部的真空度,其稳定性是传感器性能的重要影响因素[3]。美国Draper实验室研制的硅微谐，

本文编号：1068925