大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制

发布时间：2017-10-20 20:31

  本文关键词：大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制

  更多相关文章： 光栅刻划机 刻划光栅 摆角误差 压电触动器

【摘要】：大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量。首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系。其次,论述了双压电触动器校正摆角的工作原理,并设计了摆角测量光路,测量在该结构下工作台的摆角校正能力。最后基于以上结构对工作台进行刻划实验。结果表明在具有400×500光栅刻划能力的刻划机上,采用双压电触动器校正工作台摆角误差,能够满足±5μm行程范围内±2″校正范围的要求;实验表明摆角误差校正后工作台的偏转角度由0.42″降低至0.02″,校正后的摆角误差相比于校正前降低了95.24%,满足对工作台摆角校正精度的要求,提高了光栅的波前质量。以上实验结果为刻划出高精度大面积光栅提供了基础保障。
【作者单位】： 中科院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 光栅刻划机 刻划光栅 摆角误差 压电触动器
【基金】：国家重点基础研究发展计划(973)项目(2014CB049500) 国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1) 科技部国家重点基础研究发展计划(2014CB049500) 长春市场科技计划(Y3B43HU140)资助项目
【分类号】：TH74;TH112
【正文快照】： 1引言大尺寸高精度光栅尤其是高分辨率的中阶梯光栅[1]成为光谱技术领域关注的新热点,在军事、天文、航天航空、核能以及各类民用领域的需求逐步提升[2-3]。目前对于低刻线密度的红外激光光栅和所有中阶梯光栅,由于光栅衍射效率较高以及对光栅刻槽的特殊要求,一般均采用机械刻

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前8条

1 唐玉国;宋楠;巴音贺希格;崔继承;陈今涌;;中阶梯光栅光谱仪的光学设计[J];光学精密工程;2010年09期

2 蔡锦达;王英;颜廷萌;秦绪祥;王亮;;衍射光栅刻划机的闭环控制系统[J];光学精密工程;2012年11期

3 刘泊;郭建英;孙永全;;压电陶瓷微位移驱动器建模与控制[J];光学精密工程;2013年06期

4 于长淞;齐克奇;张春雷;向阳;;基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计[J];电子测量与仪器学报;2013年11期

5 谢品;倪争技;黄元申;张大伟;张永康;;中阶梯光栅的应用研究进展[J];激光杂志;2009年02期

6 邹文栋;魏永强;纪海燕;;基于Fuzzy-PID的PZT微纳扫描控制算法[J];仪器仪表学报;2009年05期

7 王道档;杨甬英;骆永洁;刘东;卓永模;;基于模板匹配算法的压电微位移器位移量原位测量技术[J];仪器仪表学报;2010年03期

8 于磊;王淑荣;林冠宇;于向阳;汪龙祺;;用于电离层探测的远紫外成像光谱仪研究[J];仪器仪表学报;2011年05期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 于海利;基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 赵新华;邹虹;潘国锋;赵艳;;一种考虑加热器效率的自适应PID温控方法[J];电子测量技术;2011年06期

2 徐从裕;史莅全;;基于太阳能输出电压的跟踪方法研究[J];电子测量技术;2012年06期

3 徐从裕;;双模态超声波电机抗慢速爬行驱动模式研究[J];电子测量与仪器学报;2011年02期

4 曹阳;赵明富;;自由空间光通信中快速偏转镜的自适应控制研究[J];光电子技术;2011年01期

5 于海利;齐向东;巴音贺希格;唐玉国;;利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领[J];光谱学与光谱分析;2012年01期

6 孔鹏;唐玉国;巴音贺希格;李文昊;崔锦江;;零像散宽波段平场全息凹面光栅的优化设计[J];光谱学与光谱分析;2012年02期

7 何淼;唐玉国;陈少杰;巴音贺希格;崔继承;;中阶梯光栅光谱仪信号光斑位置的质心提取算法[J];光谱学与光谱分析;2012年03期

8 刘佳;石磊;李凯;郑信文;曾立波;吴琼水;;双色散二维阿达玛变换光谱仪[J];光谱学与光谱分析;2012年06期

9 李跃;;混合型模糊PID在三轴转台系统中的应用[J];国外电子测量技术;2011年11期

10 唐玉国;宋楠;巴音贺希格;崔继承;陈今涌;;中阶梯光栅光谱仪的光学设计[J];光学精密工程;2010年09期

中国博士学位论文全文数据库 前8条

1 刘佳;基于数字微镜技术的阿达玛变换光谱仪若干关键技术研究[D];武汉大学;2012年

2 寇婕婷;衍射光栅效率自动测试仪光学系统设计与测量误差修正方法研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2012年

3 王道档;高精度点衍射球面干涉检测技术及系统研究[D];浙江大学;2012年

4 金一;机刻光栅制造系统结构特性与精度控制研究[D];中国科学技术大学;2013年

5 陈少杰;宽波段叶阶梯光栅光谱仪设计与标定方法研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

6 李晓天;机械刻划光栅刻线误差及其修正方法研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

7 崔继承;O_2A带高分辨率光谱测试技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

8 刘泊;基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究[D];哈尔滨理工大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 陶玉昆;超磁致伸缩执行器特性分析及其控制策略研究[D];河南理工大学;2010年

2 王东升;高精度球面面形绝对检测方法研究[D];浙江大学;2011年

3 骆永洁;非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究[D];浙江大学;2011年

4 吴浩;基于谐波电流注入式整流变压器的变流系统的研究[D];湖南大学;2010年

5 王利宁;模糊PID控制算法在电动压力发生器开发中的应用[D];吉林大学;2010年

6 解志华;多色温度计光谱聚焦耦合系统的设计与仿真[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年

7 赵鹏;小型光谱仪数字化基础研究[D];天津科技大学;2010年

8 张垒垒;中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究[D];长春理工大学;2012年

9 王赵淮;基于转炉炼钢的微型光谱仪的研究[D];南京理工大学;2013年

10 陈凯;大尺度衍射光栅刻划机定位平台的研究[D];合肥工业大学;2013年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈慧波;尚飞;;输出快采样的ARMA模型最小二乘盲辨识方法[J];安阳工学院学报;2010年04期

2 徐从裕;余晓芬;程伶俐;;圆筒型永磁同步直线电机偏心驱动模式下的纳米定位控制[J];电工技术学报;2010年06期

3 宾洋;杨东超;陈娜娜;陈恳;;新型压电驱动机电耦合动力学系统分析与建模[J];电机与控制学报;2008年02期

4 张立;周鲁飞;谈宜东;张书练;;纳米级分辨率双频激光回馈位移测量系统[J];电子测量与仪器学报;2009年04期

5 吴永芝;佘容红;李兴红;万秋华;;光电信号参数的动态提取方法[J];电子测量与仪器学报;2009年05期

6 陈晓怀;杜国山;程真英;;光栅测量系统的误差研究[J];电子测量与仪器学报;2012年03期

7 刘志红,张展霞,李文冲,王庆有;CCD检测器在ICP-AES中的应用研究——Ⅰ.CCD光谱仪的研制[J];分析仪器;1994年04期

8 肖祥丽;张承进;;一种原子力显微镜中蠕变迟滞非线性特性补偿方案[J];福州大学学报(自然科学版);2008年S1期

9 张景柱;徐诚;赵彦峻;;新型柔性铰链的柔度计算[J];工程力学;2008年11期

10 王道档;杨甬英;刘东;田超;骆永洁;卓永模;;压电移相器的空间旋转误差建模与实验分析[J];光电子.激光;2009年05期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 盛斌;利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作[D];中国科学技术大学;2009年

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 ;要闻[J];中国仪器仪表;1996年02期

2 ;[J];;年期

3 ;[J];;年期

4 ;[J];;年期

5 ;[J];;年期

6 ;[J];;年期

7 ;[J];;年期

8 ;[J];;年期

9 ;[J];;年期

10 ;[J];;年期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 张垒垒;中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究[D];长春理工大学;2012年

，

本文编号：1069194