惯性冲击式压电精密定位装置的设计

发布时间：2017-10-26 02:10

  本文关键词：惯性冲击式压电精密定位装置的设计

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【摘要】：为了实现对负载纳米级的精密定位,提出了一种利用压电材料作为驱动元件的三驱动足精密定位装置。设计了基于惯性冲击原理的精密定位装置的结构,介绍了其具体工作过程,并对驱动足的工作过程进行了理论分析。制作样机并搭建了实验系统,采用显微镜物镜进行了定位性能的测试。实验结果表明:在锯齿波电压信号的驱动下,通过改变驱动电压信号的占空比,该精密定位装置能够实现所夹持负载的双向直线运动,当电压值为80 V;电压频率为80 Hz时,该装置的位移分辨率可以达到100 nm的精度,且运行平稳,工作性能良好,步距均匀,可以实现所夹持负载纳米级的定位要求。
【作者单位】： 南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室;
【关键词】： 压电材料 精密定位 惯性冲击 位移分辨率
【分类号】：TH703
【正文快照】： 近年来,随着科学技术的不断进步,各种电子设备、精密测量仪器等高新技术产品的发展,许多领域都迫切需要高精度、高分辨率、控制灵活的精密定位装置,用以直接进行工作或配合其它仪器设备完成高精度的精密定位。因此精密定位装置的研究和设计在越来越广泛的范围内得到人们的重视

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本文编号：1096535